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积塔半导体特色工艺生产线主设备正式搬入临港新片区
澎湃新闻记者 张静
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12月28日,积塔半导体特色工艺生产线首台光刻设备搬入仪式在上海自由贸易试验区临港新片区积塔半导体厂区举行。这标志着积塔半导体从建设期向生产运营期迈出重要一步,为2020年底实现批量生产打下基础。
上海积塔半导体特色工艺生产线项目是上海市重大工程,总投资为359亿元,是上海市政府与中国电子信息产业集团合作协议的重要内容,也是其中第一个落地的重大产业项目。该项目位于上海浦东新区临港装备产业区,占地面积23万平方米。嘉宾为积塔半导体生产线首台光刻设备揭幕2018年8月7日,上海积塔半导体特色工艺生产线建设项目土地成功摘牌,并签订了土地出让合同;同年8月16日,该项目顺利开工;2019年5月21日,临港产业区迎来积塔半导体特色工艺生产线厂房结构封顶的重要时刻。
而首台光刻设备搬入又是一个里程碑式的事件。积塔项目以建设成为模拟与功率领域国内领先的特色工艺半导体生产线为目标,建成投产后,将进一步帮助完善上海打造集成电路产业高地布局,发挥产业集聚效应,加快建设具有国际竞争力的综合性产业集群。
责任编辑:张若婷
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