科技创新看亦庄 | 这款激活“芯”跳的小能手已经实现产业化

经开区企业

又传来好消息！

近日从北京烁科中科信电子装备有限公司

（简称烁科中科信）了解到

烁科中科信自主研发的离子注入机

正在进入国内各大集成电路制造厂商

为实现大批量应用打下坚实基础

截至目前，烁科中科信已拥有中束流离子注入机、大束流离子注入机、高能离子注入机和定制离子注入机四种产品，构建了较为系统的集成电路离子注入机谱系，2019年公司销售各型离子注入机达11台。

什么是离子注入机？

主要应用于哪些方面呢？

离子注入机

离子注入机是将特定种类离子以指定参数（能量、流强、角度等）注入至特定材料中的一种设备。离子注入机是半导体尤其是集成电路的核心装备，执行的是核心的掺杂工艺。半导体要做成器件，要改变电性能，必须掺入杂质，离子注入机就是执行掺杂工艺的标准设备。

“经过多年的技术积累，我们实现了离子注入机这一集成电路制造核心关键设备在28nm以上工艺领域的进口替代能力和自主可控，具备年产30台离子注入机的能力。”烁科中科信总经理舒勇东介绍说。

研发的中束流离子注入机65-28nm工艺量产12英寸晶圆超过400万片，达到了国外同类型设备水平，产品已经批量进入市场。

大束流离子注入机工艺覆盖至28nm，65-28nm工艺量产晶圆超过20万片，高能机预计2020年底进入客户端验证。

定制离子注入机主要针对6英寸及以下市场，设备应用比较广泛，可根据客户具体需求定制。针对SiC市场，基于中束流离子注入机技术，推出SiC注入机并应用于客户端，适用晶圆尺寸为主流的4-6英寸。

在研发过程中，研发团队攻克了光路、晶圆传输、剂量控制、通用软件系统等离子注入机共性关键技术。

中束流离子注入机突破了高精度束流角度控制、小发射度长寿命离子源等关键技术。

大束流离子注入机则进一步突破了低能大流强束流传输与控制、支持十余种离子的大流强长寿命离子源等关键技术。

高能离子注入机在高能（MeV）离子加速、高电荷态离子源等关键技术上实现了突破。

烁科中科信 总经理 舒勇东

烁科中科信将围绕攻克核心关键技术持续发力，推进中束流和大束流离子注入机产业化，实现全系列离子注入机自主可控，同时，跟随先进工艺发展，开展适用于更先进工艺节点的离子注入机的研发工作，并不断开拓在三代半导体、材料制备、5G器件制备等新兴领域的应用。

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记者：方针

原标题：《科技创新看亦庄 | 这款激活“芯”跳的小能手已经实现产业化》