高端硅基材料研发全面突破300mm关键技术瓶颈｜上海市重点实验室

原创 李俊 上海科技

上海市高端硅基材料重点实验室依托上海硅产业集团、上海集成电路材料研究院等单位研发资源与协同创新优势，聚焦高端硅基集成电路衬底材料300mm大硅片的自主创新，全面突破了300mm近完美单晶生长、超平坦抛光工艺以及极限表征等关键技术瓶颈，开发出相关材料已达到国内领先水平。

上海市高端硅基材料重点实验室介绍，实验室建设与发展过程中，获得了上海市科委的大力指导与支持。特别是在技术研发方面，在大硅片、氮化镓材料研究以及材料检测平台建设方面得到了上海市科委专项的大力支持，进一步加快了高端硅基材料的研发与产业化推进；在引育优秀科技人才方面，实验室人员得到了上海市多项人才计划的支持，进一步推进了实验室引进行业领域海外高端人才和优秀青年人才的引进力度；在机制体制创新方面，上海市支持实验室与高校院所、龙头企业的联合，强化市重绩效评估结果与财政支持相衔接，为实验室建设提供了经费支持，推进了实验室在基础研究和科技创新成果的产出。

此次，上海科技对上海市高端硅基材料重点实验室进行了专访，以下为主要对话内容：

Q：在加速前沿技术研发和创新技术产业化方面，实验室有哪些合作案例？

@上海市高端硅基材料重点实验室

为持续优化300mm大硅片的制造工艺，提高产品良率，实验室就大硅片研发与制造过程中亟需解决的技术难题，与上海集成电路材料研究院合作共同开展关键核心技术的研发与攻关，逐步解决了抛光垫开发、保持环特性研究、快速量测、双面抛光工艺仿真与工艺开发等一系列产业真问题，切实加快了大硅片的产业化推进。

Q：最初为什么创立上海市高端硅基材料重点实验室？

@上海市高端硅基材料重点实验室

2019年底组建的上海市高端硅基材料重点实验室，聚焦高端硅基材料技术创新的重大需求，充分发挥产研协同创新优势，开展高端硅基材料领域的基础研究、技术创新和共性平台建设，促进技术创新和产品应用。建立以来，实验室坚持长期稳定地大力度投入，提升核心技术攻关能级，突破高端硅基材料的技术瓶颈，推动自主可控的高端硅基创新体系建立，力图解决我国集成电路中高端硅基材料产业与核心技术长期受制于人的局面。

Q：实验室如何在加强顶层设计和系统布局的同时，加大建设力度和体制机制创新，强化基础研究和应用基础研究，引领技术发展？请介绍一下实验室在体制机制方面的创新实践。

@上海市高端硅基材料重点实验室

实验室围绕国家集成电路材料发展战略，以重大科技任务攻关和国家战略需求为主线，开展战略性、前瞻性、基础性、应用性科技创新。实验室在加强顶层设计和系统布局的同时，加大建设力度和体制机制创新，强化基础研究和应用基础研究，引领技术发展。其体制机制创新主要体现在以下方面：

1.建立“两会一小组”管理体制。深化科技体制改革，凝聚协同创新合力，建立起领导小组管理、学术委员会咨询指导、主任委员会负责制的“两会一小组”管理架构，有效调动行政、专业和执行的力量。其中，领导小组是重点实验室的决策机构，负责制定战略部署和决策重大事项，审定建设方案、年度工作计划和主要改革创新举措等，总体协调领导实验室建设与发展。学术委员会审议实验室的发展目标、研究方向和重大学术活动，为实验室的建设和发展提出指导性的建议。

2. 建立关键技术协同创新机制。实验室与行业领军企业、高校院所、新型研发机构开展高端硅基材料技术协同创新，实现资源共享和优势互补，加速科技成果的转化和应用，提升了实验室的创新能力。同时发挥“企业出题者”作用，建立完善的“出题-接题-解题”机制，优势企业提出亟待突破的产业技术问题，促进产研高效协同攻关，为集成电路材料产业解决“真问题”。

Q：从产业应用与落地转化的角度来看，实验室做了哪些技术突破？

@上海市高端硅基材料重点实验室

上海市高端硅基材料重点实验室围绕300mm大硅片，开展300mm硅片技术研发，不断突破近完美单晶生长、超平坦抛光工艺、关键技术瓶颈等，全面提升了硅片的质量和性能，成果研发出面向存储器应用的完美单晶棒，助力实现300mm硅片的大规模生产。300mm硅片产业的发展带动了上下游产业链的协同发展，形成了完整的产业生态体系。上下游企业加强合作与交流，共同推动国内半导体产业的进步与发展。300mm大硅片研发团队成果实现把核心技术牢牢掌握在自己手中，为我国发展集成电路制造技术、打破“卡脖子”困局提供了重要的材料支撑。

Q：未来，在加强基础研究和应用基础研究、推动科技成果转化和产业化等方面，实验室有哪些战略布局？

@上海市高端硅基材料重点实验室

重点实验室将继续围绕我国集成电路产业的发展需求，加强300mm大硅片、硅基氮化镓等衬底材料的基础研究和应用基础研究，推动科技成果转化和产业化。同时，实验室将积极拓展国内外合作与交流，引进和培养高层次人才，提升整体研发水平和创新能力。进一步推动自主可控的高端硅基材料创新体系建立。

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原标题：《高端硅基材料研发全面突破300mm关键技术瓶颈｜上海市重点实验室》

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