应美国要求荷兰吊销两款光刻机出口许可，外交部：美方必将自食其果

·荷兰光刻机巨头阿斯麦表示，荷兰政府最近部分吊销了NXT:2050i和NXT:2100i光刻系统2023年发货的出口许可证，影响了中国的少数客户。

·中国外交部发言人汪文斌表示，美方有关霸道霸凌行径严重违背国际贸易规则，严重破坏全球半导体产业格局，严重冲击国际产业链供应链的安全和稳定，必将自食其果。

阿斯麦（ASML） IC 资料图

应美国政府要求，荷兰光刻机巨头阿斯麦（ASML）取消了部分光刻机出口中国。

荷兰芯片设备制造商阿斯麦当地时间1月1日表示，在美国限制出口后，荷兰政府已部分吊销向中国出口部分芯片制造设备的许可证。“荷兰政府最近部分吊销了NXT:2050i和NXT:2100i光刻系统2023年发货的出口许可证，影响了中国的少数客户。”但阿斯麦在一份声明中表示，预计撤销许可证或美国最新出口管制限制不会对其2023年的财务前景产生实质性影响。

在1月2日的外交部记者会上，中国外交部发言人汪文斌对此表示，中方一贯反对美国泛化国家安全概念，以各种借口胁迫其他国家搞对华科技封锁。半导体是高度全球化的产业，在各国经济深度融合的背景下，美方有关霸道霸凌行径严重违背国际贸易规则，严重破坏全球半导体产业格局，严重冲击国际产业链供应链的安全和稳定，必将自食其果。汪文斌说，我们敦促荷方，秉持客观公正立场和市场原则，尊重契约精神，以实际行动维护中荷两国和双方企业的共同利益，维护国际产业链供应链的稳定和自由开放、公正、非歧视的国际贸易环境。中方将密切关注有关动向，坚决维护自身合法权益。

阿斯麦在光刻系统市场占据主导地位，使用激光帮助制造芯片电路。据阿斯麦官网信息，在阿斯麦DUV（深紫外线）光刻系统中，NXT:2050i是一款高生产率、双级浸润式光刻工具，专为在先进节点批量生产300毫米晶圆而设计，每小时可生产295片晶圆。双级浸润式光刻系统NXT:2100i是NXT:2050i的后续产品，配备了新的投影光学调节系统。

在美国政府推动下，荷兰政府去年进一步收紧对中国的出口管制，从1月1日起限制DUV（深紫外线）光刻机，这是阿斯麦第二先进的产品线。此前阿斯麦曾获得向中国企业出口3台顶级DUV光刻机的许可证，直到1月荷兰的新限制全面生效。但知情人士透露，美国官员联系阿斯麦，要求立即停止向中国客户交付部分设备的预定计划。

据彭博社报道，知情人士表示，美国国家安全顾问杰克•沙利文（Jake Sullivan）去年底就此事致电荷兰政府，荷兰官员要求美国直接与阿斯麦公司联系，讨论DUV浸润式光刻设备的发货事宜。在美国的要求下，有限数量的设备被取消发货，但目前尚不清楚涉及多少台设备，不过单价可达数千万美元。

“在最近与美国政府的讨论中，阿斯麦进一步明确了美国出口管制规定的范围和影响。”阿斯麦在一份声明中表示，美国2023年10月17日发布的最新出口规则对少数先进生产设施的某些DUV浸润式光刻系统施加了限制。阿斯麦完全承诺遵守业务所在国家或地区所有适用的法律法规，包括出口管制法规。

针对出口限制，阿斯麦即将离任的首席执行官彼得·温宁克（Peter Wennink）去年10月对投资者说，新的限制措施将影响阿斯麦在华15%的销售。温宁克曾公开反对这些措施，并警告这些措施可能会鼓励中国开发与之竞争的技术，“你给他们的压力越大，他们就越有可能加倍努力。”