【复材资讯】研究前沿：Nature Electronics-薄膜晶体管

在大面积电子产品中，薄膜晶体管Thin-film transistors (TFTs) 是一项关键技术。相比于互补金属氧化物半导体complementary metal–oxide–semiconductor (CMOS) 晶体管，薄膜晶体管以更低的加工温度和成本，实现了大面积（在玻璃或柔性基板上）的均匀制造。这些薄膜晶体管，用于平板显示器和X射线探测器等诸多应用，并在一系列新兴应用中，也具有潜在用途。

中国科学院微电子研究所 Di Geng, Kai Wang，李泠Ling Li，刘明院士Ming Liu等，在Nature Electronics上发表综述文章，讨论了用于大面积电子产品的薄膜晶体管TFT发展。还探索了在显示器和传感器以及数字电路和存储器中的薄膜晶体管TFT（可基于氢化非晶硅、低温多晶硅、非晶氧化物半导体和有机半导体）。还考虑了在新兴应用（如神经形态计算）中的潜在用途。

Thin-film transistors for large-area electronics.

大面积电子设备用的薄膜晶体管

图1: 晶体硅、非晶硅和非晶氧化物晶体管的原子排列、能带结构和器件结构。

图2: 在显示器和图像传感器中，薄膜晶体管Thin-film transistors，TFT示意图。

图3: 长期偏置应力后Vth偏移标志的不稳定性问题，从成分变化到双通道的改进策略。

图4: 在非显示应用中，薄膜晶体管TFT的典型产品。

文献链接

Geng, D., Wang, K., Li, L. et al. Thin-film transistors for large-area electronics. Nat Electron 6, 963–972 (2023).

https://doi.org/10.1038/s41928-023-01095-8

https://www.nature.com/articles/s41928-023-01095-8

本文译自Nature。

来源：今日新材料

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