未来科学大奖揭晓：台积电传奇林本坚获数学与计算机科学奖

9月8日下午14时许，第三届“未来科学大奖”在北京揭晓。林本坚摘得三项大奖之一的“数学与计算机科学奖”。奖金为100万美元奖金，使用方式不受限制。

获奖评语：奖励他开拓浸润式微影系统方法，持续扩展纳米级集成电路制造，将摩尔定律延伸多代。

林本坚1942年出生于越南，美国俄亥俄州立大学电机博士。2008年当选美国国家工程学院院士，2014年成为第一位出身业界的台湾“中央研究院”院士。

他曾担任台湾积体电路制造公司（以下简称台积电）研发副总经理一职，还是美国电气与电子工程学会会士（IEEE Fellow），国际光学工程学会会士（SPIE Fellow）和台湾工业技术研究院院士。

颁奖现场，新东方联合创始人王强现场拆开了获奖名单。随后北京国际数学研究中心主任田刚进行了电话连线。

林本坚说道：“得奖是非常荣幸的事，是对我的鼓励和肯定。现在我知道了，大陆也了解我在集成电路和半导体方面做出了一点小小的贡献。”

林本坚是台积电的传奇人物，专注于半导体制程中的微影技术的研发。2002年，他研究出以水作为介质的193纳米浸润式微影技术（Immersion Lithography），改变了半导体产业以干式微影作为主流的传统。他本人也因此成为台湾“中央研究院”第一位产业界出身的院士。193纳米浸润式微影技术让摩尔定律得以延续，也协助台积电跃进三个世代，取得产业上的优势地位。

在台湾大学电机系就读期间，林本坚因一本以天线为主题的课本兴起了海外求学的念头，前往美国俄亥俄州立大学攻读博士。他曾向媒体分享过他的留学经历。他笑说不只高手云集，课业也重。“当时教我物理的是杨振宁的弟弟，要求很严格。过去在台大我从没开过夜车，没想到在那边要开夜车赶作业”。

他还是一个摄影爱好者，曾给柯达写过求职信，没想到杳无回音。博士毕业后，他顺利进入IBM。22年后，他从IBM退休。他曾试图用自己的技术创业，成立了领创公司（Linnovation, Inc.），但发现创业不易。2000年，在台积电副总蒋尚义的邀请下，林本坚加入了台积电并负责微影研发。

彼时，半导体产业正面临瓶颈，业界苦思如何在90纳米尺寸下发展显影技术。林本坚也在思考这个问题。

两年后，他研究出以水作为介质的193纳米浸润式微影技术。这个研究成果于2002年首次发表在美国一场以157纳米波长为主题的研讨会上。此后两年，世界著名曝光机厂商尼康和艾斯摩尔陆续开始跟进193纳米浸润式微影机台的开发。这项技术也让台积电引领新技术，取得业界领先地位。

2015年年底，林本坚从台积电退休。闲暇时，他喜欢打网球和拉小提琴。

此外，他还担任着台湾大学电子工程学研究所特聘研究讲座。台湾大学特聘研究讲座制度针对海外杰出学者设立，分为特聘研究讲座及特聘讲座教授两类。特聘研究讲座须为诺贝尔奖或与之相当的全球性殊荣获得者，或者先进国家国家级院士或中央研究院院士。截止2017年12月，该项目已延揽特聘研究讲座及特聘讲座教授共143人次。

未来科学大奖设立于2016年，由民间科学公益组织未来论坛发起，奖励在大中华地区做出具有国际影响力的原创科研工作的科学家，迄今为止已颁发两届。

目前，未来科学大奖共设置了三个奖项，分别为“生命科学奖”、“物质科学奖”和“数学与计算机科学奖”，单项奖金100万美元，由国内知名企业家和投资人捐赠。

2016年，香港中文大学李嘉诚健康科学研究所所长卢煜明因“基于孕妇外周血中存在胎儿DNA的发现，在无创产前胎儿基因检查方面做出的开拓性贡献”获得生命科学奖。

清华大学常务副校长薛其坤因“在利用分子束外延技术发现量子反常霍尔效应和单层铁硒超导等新奇量子效应方面做出的开拓性工作”获得物质科学奖。

2017年，清华大学教授施一公因“在解析真核信使RNA剪接体这一关键复合物的结构，揭示活性部分及分子层面机理的重大贡献”获得生命科学奖。

中国科学技术大学常务副校长潘建伟因“在量子光学技术方面的创造性贡献，使基于量子密钥分发的安全通信成为现实可能”获得物质科学奖。

时任北京国际数学研究中心教授许晨阳因“在双有理代数几何上做出的极其深刻的贡献”获得数学与计算机科学奖。

大奖借鉴诺奖等国际大奖的评选机制，采用提名邀约制和国际同行评议制，今年共收获200多封提名信。据悉，本届未来科学大奖国际科学家评审回复率已达75%，意味着其国际影响力已达到一定水平。

附未来科学大奖科学委员会成员

鲍哲南 斯坦福大学可穿戴电子中心创始人和主任、美国工程院院士

丁洪 中国科学院物理所研究员、北京凝聚态国家实验室首席科学家

董欣年 美国霍华德休斯研究员、美国科学院院士

何川 芝加哥大学讲座讲授、美国霍华德休斯医学研究所研究员

季向东 李政道研究所资深学者、上海交通大学鸿文讲席教授

李飞飞 美国斯坦福大学计算机科学系终身教授、人工智能实验室主任、谷歌云人工智能和机器学习首席科学家

励建书 香港科技大学讲座教授、中国科学院院士

李凯 普林斯顿大学讲席教授、美国工程院院士

刘勇军 赛诺菲集团全球研究部总裁

骆利群 斯坦福大学文理学院讲席教授、美国科学院院士

毛淑德 清华大学天体物理中心主任、

饶毅 北京大学理学部主任

舒其望 美国布朗大学应用数学讲席教授

田刚 北京国际数学研究中心主任、中国科学院院士

王晓东 北京生命科学研究所所长、美国科学院院士

文小刚 美国麻省理工学院格林讲席教授、美国科学院院士

夏志宏 南方科技大学讲座教授、美国西北大学讲席教授

谢晓亮 北京大学李兆基讲席教授、美国科学院院士

杨培东 加州大学伯克利分校化学系、材料化学与工程系双聘教授、美国科学院院士

余金权 美国Scripps研究所化学系教授

张懋中 台湾新竹交通大学校长、美国工程院院士

生命科学奖捐赠人

丁健 金沙江创投董事总经理

李彦宏 百度公司创始人、董事长兼首席执行官

沈南鹏 红杉资本全球执行合伙人

张磊 高瓴资本集团创始人兼首席执行官

物质科学奖捐赠人

邓锋 北极光创投创始人兼董事总经理

吴亚军 龙湖集团董事长

吴鹰 中泽嘉盟投资基金董事长

徐小平 真格基金创始人,中国著名天使投资人

数学与计算机科学奖捐赠人

丁磊 网易公司创始人、董事局主席兼首席执行官

江南春 分众传媒创始人、董事长

马化腾 腾讯公司董事会主席兼首席执行官

王强 真格基金联合创始人，新东方联合创始人