再扩产能，开发集成电路关键工艺材料：上海新阳5.8亿元新项目启动

国内缺芯潮下，受益于晶圆厂的扩产及国产替代加速，集成电路制造用工艺化学材料的市场需求量也随之增加。湿电子化学品供应商上海新阳半导体材料股份有限公司（下称“上海新阳”，300236）近年来大举布局集成电路关键工艺化学材料，不断扩充产能以抢占未来市场。

2月14日晚间，上海新阳公告披露，公司拟与上海化学工业区管理委员会、上海化学工业区发展有限公司签订《投资意向协议》，变更全资子公司上海芯刻微材料技术有限责任公司注册于上海化学工业区，并启动位于上海化学工业区的项目（下称“项目”）建设。

该项目主要用于开发集成电路关键工艺材料。经初步测算，项目总投资金额约为5.8亿元人民币，占地约104亩。项目资金来源为公司自有及自筹资金，上海新阳称，带来一定的资金压力。

项目预计年产500吨I线、KrF、ArF干/湿法光刻胶；年产10000吨光刻胶稀释剂；年产5000吨高选择比氮化钛刻蚀液系列产品；年产15000吨干法蚀刻清洗液系列产品。

据公告披露，项目拟于2023年取得施工许可证，2025年底前竣工，2026年6 月底前投产。

上海新阳的独立董事对此项目给出的意见为，为了进一步巩固在国内半导体材料行业的领先地位，实现我国集成电路关键工艺化学材料的自主可控，公司目前需要扩大产能以满足未来客户需求。项目投产将使公司清洗液系列产品、光刻胶系列产品、刻蚀液系列产品的产能获得极大提高。本项目建设符合公司长期发展的战略需求。

上海新阳创立于1999年7月，2011年6月在深圳证券交易所创业板上市。公司此前在公告中提到，公司成立前10年，研发出了面向半导体封装领域的第一代电子电镀与电子清洗技术，为我国半导体封装引线脚工艺加工带来了一场根本性技术变革与提升；后10年，研发出了面向芯片制造领域的第二代电子电镀与电子清洗技术，为我国芯片制造铜互连工艺填补了国产材料的空白，实现了国产替代和自主供应能力，一举突破了国外企业在这一领域的垄断，避免了被国外封锁与“卡脖子”的可能。迄今为止，公司是国内唯一能够满足芯片90-14nm铜制程全部技术节点对电镀液要求的本土企业。

值得关注的是，2022年上半年，作为公司的第三大核心技术产品，上海新阳的光刻胶取得重大突破，自主研发的KrF光刻胶产品通过认证，客户不断增加，已在国内主流晶圆制造厂商处实现供货。公司在1月曾对外表示，公司KrF光刻胶已批量化生产销售，ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中，EUV光刻胶尚在开发阶段。

总体而言，上海新阳目前形成了拥有完整自主可控知识产权的电子电镀和电子清洗两大核心技术, 第三大核心技术电子光刻技术及第四大核心技术电子研磨技术都已基本形成。

随着产业工艺升级和下游厂商的积极扩产，半导体材料市场正快速增长。国际半导体产业协会（SEMI）数据显示，2021年全球半导体材料市场收入达到643亿美元，超过了此前2020年555亿美元的市场规模，同比增长15.9%。与此同时，受益于产业链转移趋势，2021年国内半导体材料销售额高达119.3亿美元，同比增长22%，增速远高于其他国家和地区。

实际上，半导体材料种类繁多，包括硅片、电子特气、光刻胶、工艺化学品、研磨液、靶材等。据SEMI数据显示，硅片为半导体材料领域规模最大的品类之一，市场份额占比达31.2%，其次为气体，占比约14.1%，第三为光刻胶配套试剂、光刻胶、工艺化学品、抛光液和抛光垫类化学材料，占比分别为7.3%、5.0%、6.5%和8.4%。

而上海新阳目前产品主要涉及半导体芯片制程工艺所需的电镀液及添加剂、清洗液、光刻胶及研磨液等关键工艺化学材料。

公司在2022年半年报中曾披露，在集成电路制造用关键工艺材料产品市场需求旺盛情况下，于2019年启动集成电路关键工艺材料扩产项目，布局规划了清洗液、刻蚀液、电镀液及添加剂、光刻胶、研磨液等化学品材料产能，历经2年多的建设、调试、试生产等环节，公司上海厂区年产能1.9万吨扩充目标已建设完成，并根据客户需求情况投入生产。上海新阳称，此扩产解决了公司迫切的产能瓶颈问题，为公司2022年上半年产品放量增长提供支撑。

上海新阳在2022年12月回复投资者时提到，上海本部1.9万吨产能未完全投产。

此外，上海新阳于2019年10月21日与合肥新站高新技术产业开发区管委会签订《上海新阳半导体材料股份有限公司第二生产基地项目投资合作协议》，启动了公司位于合肥新站高新技术产业开发区的第二生产基地项目建设，项目计 划分二期建设，一期投资约3亿元人民币。二期项目则于2022年2月达成协议，总投资约3.2亿元人民币。

在今年1月底，上海新阳称，合肥新阳项目两期并行，目前尚未投产。

2022年前三季度，上海新阳营业收入为8.77亿元，和上年同期相比（同比）增加23.22%；归属于上市公司股东的净利润为1394.76万元，同比减少81.20%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为9363.82万元，同比增加38.52%。