中船（邯郸）派瑞特气：争做世界特种气体新高地

电子特种气体被誉为半导体行业的“粮食”和“血液”，是半导体制造不可或缺的原材料之一。中船（邯郸）派瑞特种气体有限公司作为国家高新技术企业，业内需要的上百种电子特种气体目前已有40余种实现高纯度、批量化生产，成为国内领先、世界知名的电子特种气体供应商。

在中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司的成品车间，高纯三氟化氮气体随时装车、随时发货，仅这一种高纯特气在国内实现批量化供应，就能让国内集成电路制造企业生产成本大幅降低。

据了解，集成电路制造工艺极其复杂，涉及上千道工序，需使用上百种电子特种气体。面对新的国际形势，中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司从2000年开始，专注于电子特种气体的研发和产业化，目前已经具备电子特种气体及含氟新材料等50余种产品的生产能力，填补了国内空白，打破了国外垄断，保证了我们国家集成电路材料的产业链安全。

二十年的时间，中船（邯郸）派瑞特种气体牵头完成了多项国家及地方的重大科研项目，先后解决了多种电子特气受制于人的难题，其中的三氟化氮、六氟化钨等产品已经达到国际领先。

创新是永恒的动力，目前中船（邯郸）派瑞特种气体每年投入大量的研发经费，从最初的单一产品研发生产，逐步深入到芯片制造所需的多产品研发，已经成为电子特种气体领域的头部企业。

据了解，目前中船（邯郸）派瑞特种气体已经建成多个省级研发平台，正在筹建国家级创新中心，同时新增多项高纯电子气体产业项目建设，未来三年到五年，将实现70余种电子特气的研发及产业化，向着世界电子特气的主导力量目标稳步迈进。

来源：邯郸新闻+