张丛：国家需要 我就去干 | 学党史·好榜样

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学党史·好榜样

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“学习党的历史，既有助于牢记初心使命、坚定信仰信念，同时对于我们的实际工作也有激励作用。”

——张丛

坚持自主创新，打破技术枷锁，带领团队实现离子注入机全谱系产品国产化，可为芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。张丛滚烫的青春沸腾在集成电路核心装备自主创新的征程上，在他心里，国家的需求就是人生的选择。

“别人能干成，我们也能干成”

在集成电路领域，离子注入机就是至关重要的核心装备。张丛深知，没有制造装备的自立，就没有我国集成电路的未来。面对我国产业链上的诸多空白，他毅然选择了电科装备。此后经年，在离子注入机国产化的大道上，他用奋斗燃烧光和热。

在某型离子注入机首台设备的攻关中，张丛带领团队连续突破了多项关键共性技术。随着研发进入工程样机测试阶段，张丛的神经更加紧绷，“设备做出来只是第一步，经得住工艺考验，满足产线要求，才是真正从无到有的突破”。为保障设备如期出厂，张丛率团队一头扎入制造厂房，全天候监测设备。面对诸多技术难题，他咬紧牙关，鼓励团队，“别人能干成，我们也能干成！”连续调试半年，设备顺利通过验收。

该设备的成功研制，标志着市场占有率最大、应用最广泛的离子注入机机型实现量产应用。机型项目荣获2019年度北京市科技进步一等奖，作为第一完成人，张丛代表团队领取了证书，红色封皮，烫金的字体，一如他滚烫的赤诚。

“最好的状态，不变的初心”

张丛对科研的热爱到了痴迷的程度，周边的同事都笑称他有两个孩子，一个是他的女儿，另一个就是他心爱的离子注入机。“做产品就像培养孩子，虽然对孩子前途不免担忧，但更多的是期待和信心”。也曾一筹莫展，也曾焦虑挫败，但张丛从未放下作为“家长”应有的责任和担当，总是以严慎细实的作风，力求在规划时期就高起点、高标准、高要求，将设备做到极致。“最幸福的时刻，就是看到我们国产离子注入机在集成电路大生产线上稳定运行。”

科研能力是综合能力，从容和淡定是最难得的心态。张丛认为，只有用从容的心态去思考问题才能够更清醒的思考，更全面的思考。他几乎从不发脾气，遇到问题总是尽全力和大家一起想办法找到解决方案。无论多么复杂的“病灶”，总能带领团队耐心地能剥茧抽丝，开出“药方”，保证“药到病除”，设备又能健康地运转。

眼下对张丛来说，往往是一个任务尚未完成，又有新任务来临，几乎没有喘息的机会。“高端集成电路制造装备国产化是一项值得干的伟大事业，历史的一棒交到了我们手中，必须干好。”他坚定地说。

原标题：《张丛：国家需要 我就去干 | 学党史·好榜样》

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